| 发明名称 |
MANUFACTURE AND APPARATUS FOR SINGLE-CRYSTAL SILICON THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0453124(A) |
申请公布日期 |
1992.02.20 |
| 申请号 |
JP19900158512 |
申请日期 |
1990.06.15 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
ITOGA TAKASHI;MORITA TATSUO;TSUCHIMOTO SHUHEI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/02;H01L21/26;H01L21/263;H01L21/268;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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