| 主权项 |
1.一种旋转涂布工件用化学品旋转涂布装置,包括: 承杯,具有一底部区域与大致弧形壁部; 夹头底座,具有一用来固持工作之夹头板,此夹头 底座与夹头板容纳于承杯之一内部区域内; 承杯罩盖,安装于大致弧形壁部的顶面上; 复数上通气孔,设在大致弧形壁部上,此复数上通 气孔界定一通至承杯内部区域的通气路径;以及 复数通气排泄孔,设于大致弧形壁部的实质上在各 上通气孔下面的边缘位置,此复数通气排泄孔提供 一通至承杯内部的通气排泄路径。2.如申请专利 范围第1项之旋转涂布工件用化学品旋转涂布装置 ,其中复数上通气孔与复数通气排泄孔实质上彼此 垂直配准。3.如申请专利范围第1项之旋转涂布工 件用化学品旋转涂布装置,其中复数上通气孔与复 数通气排泄孔彼此垂直间置。4.如申请专利范围 第1项之旋转涂布工件用化学品旋转涂布装置,其 中复数通气排泄孔位在相对于复数上通气孔较一 第二径向距离大的第一径向距离处。5.如申请专 利范围第1项之旋转涂布工件用化学品旋转涂布装 置,其中复数通气排泄孔所处边缘位置实质上接近 承杯的大致弧形壁部与底座区域的交点。6.如申 请专利范围第1项之旋转涂布工件用化学品旋转涂 布装置,其中复数通气孔至少在垂直位向上低于夹 头板。7.如申请专利范围第2项之旋转涂布工件用 化学品旋转涂布装置,其中夹头板含有复数真空工 件槽孔,自承杯底座部位伸延至夹头板。8.如申请 专利范围第2项之旋转涂布工件用化学品旋转涂布 装置,其中复数真空工件槽孔连接至一真空泵。9. 如申请专利范围第1项之旋转涂布工件用化学品旋 转涂布装置,其中实质上弧形壁部具有角度渐增的 弧度,自大致弧形壁部的顶面伸延之边缘位置。10. 如申请专利范围第9项之旋转涂布工件用化学品旋 转涂布装置,其中大致弧形壁部的顶面具有介于大 约160度与大约170度之间的角度。11.如申请专利范 围第9项之旋转涂布工件用化学品旋转涂布装置, 其中边缘部份具有大约110度与130度之间的角度。 12.如申请专利范围第9项之旋转涂布工件用化学品 旋转涂布装置,其中大致弧形壁部上介于其顶面与 边缘位置的表面位置具有大约140度与150度之间的 角度。13.如申请专利范围第9项之旋转涂布工件用 化学品旋转涂布装置,其中弧度的渐增角度在110度 与170度之间。14.如申请专利范围第1项之旋转涂布 工件用化学品旋转涂布装置,其中承杯罩盖具有一 大致圆形凹穴,与大致弧形壁部顶面上的大致圆柱 形突起匹配。15.如申请专利范围第14项之旋转涂 布工件用化学品旋转涂布装置,其中承杯罩盖具有 复数销,与大致弧形壁部顶面上的复数销孔匹配。 16.如申请专利范围第1项之旋转涂布工件用化学品 旋转涂布装置,其中承杯罩盖与夹头板间的空间约 为2mm至10mm。17.如申请专利范围第1项之旋转涂布 工件用化学品旋转涂布装置,其中承杯罩盖与夹头 板间的空间约为3mm至6mm。18.如申请专利范围第1项 之旋转涂布工件用化学品旋转涂布装置,其中复数 上通气孔具有较复数排气孔小的直径。19.如申请 专利范围第1项之旋转涂布工件用化学品旋转涂布 装置,其中该工件系一光碟。20.如申请专利范围第 19项之旋转涂布工件用化学品旋转涂布装置,其中 光碟为可记录光碟(CDR)。21.如申请专利范围第20项 之旋转涂布工件用化学品旋转涂布装置,其中成形 用化学品均匀涂布在可记录光碟表面上。22.如申 请专利范围第1项之旋转涂布工件用化学品旋转涂 布装置,其中承杯罩盖紧邻夹头板。23.一种均匀旋 转涂布化学品于工件之方法,包括: (a)提供一承杯,具有一底部区域与大致弧形壁部, 大致弧形壁部具有一容纳工件之开口,工件置于附 接在承杯底座区域的夹头上; (i)承杯具有复数上通气孔,设在大致弧形壁部上, 此复数上通气孔界定一通至承杯的通气路径; (ii)承杯具有复数排气孔,设在大约弧形壁部在实 质上各上通气孔下面的边缘位置,且复数排气孔提 供一通至承杯内部区域的通气排气通路; (b)一旦化学品涂覆于工件表面,即将一罩盖置于承 杯上,工件固定于附接在承杯底座区域的夹头;以 及 (c)旋转承杯使其达到化学品旋转涂布速度。24.如 申请专利范围第23项之均匀旋转涂布化学品于工 件之方法,其中达到化学品旋转涂布速度时,一气 流即经由复数上通气孔抽入承杯的内部区域中,并 同时经由复数排气孔排出承杯内部区域外。25.如 申请专利范围第24项之均匀旋转涂布化学品于工 件之方法,其中复数气排孔位在相对于复数上通气 孔较第二径向距离大的第一径向距离处。26.如申 请专利范围第25项之均匀旋转涂布化学品于工件 之方法,其中承杯达到化学品旋转涂布速度时,第 一径向距离具有较第二径向距离低的压力。27.如 申请专利范围第26项之均匀旋转涂布化学品于工 件之方法,其中气流经由复数上通气孔抽入承杯内 部区域内且同时经由复数排气孔排出承杯内部区 域外时,扰流减少。28.如申请专利范围第27项之均 匀旋转涂布化学品于工件之方法,其中将罩盖置于 承杯上面的步骤使其在达到化学品旋转涂布速度 前的一段时间内减少化学品蒸发。29.如申请专利 范围第23项之均匀旋转涂布化学品于工件之方法, 其中工件为光碟。30.如申请专利范围第29项之均 匀旋转涂布化学品于工件之方法,其中光碟为可记 录光碟(CDR)。31.如申请专利范围第30项之均匀旋转 涂布化学品于工件之方法,其中化学品为一种成形 用化学品,实质上均匀涂布在可记录光碟的表面上 。图式简单说明: 第一图A显示一用来旋转涂布化学品于光碟表面的 习知开放式旋转夹头/承杯装置。 第一图B系第一图A所示习知开放式旋转夹头/承杯 装置上视图。 第一图C图系一光碟之横剖视图,此光碟使用第一 图A所示习知开放式旋转夹头/承杯装置来旋转涂 布。 第二图A系根据本发明一实施例一包含有一内部夹 头与一罩盖的旋转承杯分解图。 第二图B系第二图A所示旋转承杯之侧视图,更清晰 图示根据本发明一实施例的底部区域与侧壁的较 佳弧度。 第二图C系第二图A所示旋转承杯之上视图,根据本 发明一实施例,其旋转杆、夹头底座与夹头板适当 嵌入旋转承杯内。 第三图系根据本发明一实施例如第二图A至第二图 C所示旋转承杯之横剖视图。 第四图A系第三图所示旋转承杯之部份横剖视图, 例示根据本发明一实施例于操作期间所可能发生 的气流路线。 第四图B显示根据本发明一实施例于第四图A所例 示气流路线正对向位置所发生的实质上类似气流 路线。 第五图系根据本发明一实施例如第三图所示旋转 承杯之横剖视分解图。 第六图A系根据本发明一实施例如第三图所示旋转 承杯于各个位置压力特性之压力rpm比图表。 第六图B显示一例举光碟,根据本发明一实施例,此 光碟于其顶面均匀涂布化学品。 |
