| 发明名称 |
Method and device for irradiating an ion beam, and related method and device thereof |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2373629(A) |
申请公布日期 |
2002.09.25 |
| 申请号 |
GB20010027084 |
申请日期 |
2001.11.12 |
| 申请人 |
* NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SHIGEKI * SAKAI;TADASHI * IKEJIRI |
| 分类号 |
C23C14/48;C23C14/00;C23C16/00;C30B31/22;H01J37/02;H01J37/04;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/223;H01L21/265;H01L21/42;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/02 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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