| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FERROELECTRIC FILM FORMING PRECURSOR SOLUTION AND MANUFACTURE OF THIN FERROELECTRIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0419911(A) |
申请公布日期 |
1992.01.23 |
| 申请号 |
JP19900121755 |
申请日期 |
1990.05.11 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
SOYAMA NOBUYUKI;OGI KATSUMI;UCHIDA HIROTO |
| 分类号 |
H01B3/20;H01B3/00;H01B13/00 |
主分类号 |
H01B3/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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