| 摘要 |
<P>L'invention concerne un procédé de réalisation de composants optiques intégrés sur un substrat consistant à: <BR/> - réaliser un masque (12) ayant des motifs de formes et de dimensions déterminées, <BR/> - effectuer une gravure du substrat non protégé par le masque de manière à obtenir au moins une cavité (13) de forme désirée, <BR/> - effectuer une oxydation thermique pour former une couche périphérique (15, 16a, 16b) d'épaisseur donnée sur une partie ou sur toute la surface intérieure des cavités, <BR/> - réaliser un remplissage (17, 18) des cavités par un matériau approprié. <BR/> L'invention s'applique à la réalisation de composants de type microguide, miroir, lame séparatrice multimode.</P>
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