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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR920000228(B1) 申请公布日期 1992.01.10
申请号 KR19870015371 申请日期 1987.12.30
申请人 TOSHIBA CORP. 发明人 MAEDA, DAKEO
分类号 H01L29/73;H01L21/22;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/761;(IPC1-7):H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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