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发明名称 NON-DESTRUCTIVE SEMICONDUCTOR WAFER PROBING SYSTEM USING LASER PULSES TO GENERATE AND DETECT MILLIMETER-WAVE SIGNALS
摘要
申请公布号 CA2020733(A1) 申请公布日期 1992.01.10
申请号 CA19902020733 申请日期 1990.07.09
申请人 COMMUNICATIONS SATELLITE CORPORATION 发明人 SMITH, THANE;HUANG, HO-CHUNG;LEE, CHI H.
分类号 G01R31/265;G01R31/311 主分类号 G01R31/265
代理机构 代理人
主权项
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