Linear type evaporator and thin film deposition apparatus having the same

摘要

본 발명은 원료 물질을 증발시키는 도가니와, 도가니와 연결되어 증발된 원료 물질을 복수의 노즐을 통해 분사하는 소오스 헤드와, 도가니와 소오스 헤드로부터 누설되는 원료 물질을 트랩하는 트랩 부재를 포함하는 증발 장치 및 이를 구비하는 박막 증착 장치를 제공한다.