发明名称 FORMATION OF CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH03289130(A) 申请公布日期 1991.12.19
申请号 JP19900090445 申请日期 1990.04.06
申请人 CANON INC 发明人 YAMAGATA KENJI
分类号 H01L21/762;H01L21/205;H01L21/76;H01L21/84 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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