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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03286563(A) 申请公布日期 1991.12.17
申请号 JP19900089525 申请日期 1990.04.03
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MATSUOKA TAKASHI
分类号 H01L21/822;H01L27/04;H01L27/095;H01L49/02 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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