| 发明名称 |
PROCEDE DE REALISATION DE CAGES POUR LE DEPOT, DANS UN REACTEUR DE DEPOT EN PHASE VAPEUR, DE COUCHES MINCES SUR DES SUBSTRATS, ET CAGES OBTENUES PAR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2650602(B1) |
申请公布日期 |
1991.10.25 |
| 申请号 |
FR19890010462 |
申请日期 |
1989.08.01 |
| 申请人 |
CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE |
发明人 |
JEAN-PIERRE COUDERC;PATRICK DUVERNEUIL;JEAN-CLAUDE IZARD |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/458;C30B25/12;H01L21/205;(IPC1-7):C30B23/00;C30B29/06 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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