发明名称 PREPARATION OF HIGH-PURITY THIN FILM
摘要
申请公布号 EP0418091(A3) 申请公布日期 1991.10.23
申请号 EP19900310060 申请日期 1990.09.13
申请人 NIPPON STEEL CORPORATION;NATIONAL RESEARCH INSTITUTE FOR METALS 发明人 CHIBA, KOICHI;SAEKI, MASAO;UMEDA, HIROSHI;YOSHIMATSU, SHIRO;OGAWA, YOICHI;OZAKA, TSUYOSHI
分类号 C23C14/22;C23C14/32;C23C16/48;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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