发明名称 Recirculating chemical bath with inflow and self balancing outflow
摘要
申请公布号 US5054519(A) 申请公布日期 1991.10.08
申请号 US19900633690 申请日期 1990.12.26
申请人 IMTEC PRODUCTS, INC. 发明人 BERMAN, ALLAN
分类号 B01L99/00;B01L3/00;B05C3/02;C23F1/08;H01L21/00;H01L21/306 主分类号 B01L99/00
代理机构 代理人
主权项
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