| 发明名称 |
OPTICAL ELEMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03227578(A) |
申请公布日期 |
1991.10.08 |
| 申请号 |
JP19900052393 |
申请日期 |
1990.03.02 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TOKUDA YASUKI;TSUKADA NORIAKI |
| 分类号 |
G01J1/02;G02F1/015;G02F1/017;G02F3/02;H01L31/0352;H01L31/10 |
主分类号 |
G01J1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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