发明名称 VERFAHREN ZUM SCHLEIFEN UND AUFRAUHEN DER STIRNFLAECHEN VON EINKRISTALLEN
摘要
申请公布号 DD294592(A5) 申请公布日期 1991.10.02
申请号 DD19900340804 申请日期 1990.05.18
申请人 VEB SPURENMETALLE FREIBERG,DE 发明人 KRAUSS,NORBERT,DE;KLAUKE,VOLKER,DE;STAEBER,HEINZ,DE;STRASSBURGER,KARL,DE;RUEGER,SIEGMUND,DE
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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