发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03222424(A) 申请公布日期 1991.10.01
申请号 JP19900019783 申请日期 1990.01.29
申请人 NEC CORP 发明人 ISOBE AKIRA
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
地址