发明名称 DETECTING APPARATUS OF PRESSURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03220436(A) 申请公布日期 1991.09.27
申请号 JP19900013640 申请日期 1990.01.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKEUCHI TAKANOBU
分类号 G01L9/04;G01L9/00 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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