发明名称 DRAM CELL WITH TRENCH CAPACITOR AND BURIED LATERAL CONTACT
摘要
申请公布号 EP0418491(A3) 申请公布日期 1991.09.25
申请号 EP19900113757 申请日期 1990.07.18
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 SHEN, BING-WHEY;YASHIRO, MASAAKI;MCKEE, RANDY;CHUNG, GISHI;SHIRAI, KIYOSHI;TENG, CLARENCE;COLEMAN, DONALD J., JR.
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/82 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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