发明名称 SCANNING DEVICE WITH FOCUSED ION BEAM
摘要
申请公布号 JPH03214552(A) 申请公布日期 1991.09.19
申请号 JP19900006276 申请日期 1990.01.17
申请人 CANON INC 发明人 WATANABE NOBUO;OKUNUKI MASAHIKO
分类号 H01J37/04;H01J37/28;H01L21/265 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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