| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER PICK-UP DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0375209(A3) |
申请公布日期 |
1991.09.11 |
| 申请号 |
EP19890312759 |
申请日期 |
1989.12.07 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
MOROI, MASAYUKI |
| 分类号 |
B65H3/08;B25J15/06;B25J17/02;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65H3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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