| 发明名称 |
PROCEDE DE DETERMINATION DE LA MISE AU POINT D'UNE MACHINE D'EXPOSITION DE PHOTOLITHOGRAPHIE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2642188(B1) |
申请公布日期 |
1991.08.30 |
| 申请号 |
FR19880017615 |
申请日期 |
1988.12.30 |
| 申请人 |
TISSIER ANNIE;LATOMBE BRUNO;PONCET ALAIN |
发明人 |
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| 分类号 |
G02B7/28;G03F7/20;G03F7/207;G03F7/40;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/207 |
主分类号 |
G02B7/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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