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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0379458(U)
申请公布日期
1991.08.13
申请号
JP19890139764U
申请日期
1989.11.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/301;H01L21/78;H01L33/02;H01L33/62;(IPC1-7):H01L33/00
主分类号
H01L21/301
代理机构
代理人
主权项
地址
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