发明名称 Method of and apparatus for producing cutout mask data
摘要
申请公布号 US5038383(A) 申请公布日期 1991.08.06
申请号 US19890416843 申请日期 1989.10.04
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., INC. 发明人 USUMOTO, HIROAKI;OHSAWA, IKUO
分类号 G03F1/00;G06T11/60 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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