发明名称 |
OBJECTIVE-LENS SWITCHING MECHANISM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03180048(A) |
申请公布日期 |
1991.08.06 |
申请号 |
JP19890320282 |
申请日期 |
1989.12.08 |
申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
ASAMI KOICHI;KODAMA MASAYOSHI |
分类号 |
G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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