发明名称 OBJECTIVE-LENS SWITCHING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH03180048(A) 申请公布日期 1991.08.06
申请号 JP19890320282 申请日期 1989.12.08
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 ASAMI KOICHI;KODAMA MASAYOSHI
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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