| 发明名称 |
FABRICATION OF A SEMICONDUCTOR DEVICE INCLUDING A STEP FOR PRODIVING A LAYER OF INSULATING MATERIAL FORMED FROM AN ORGANO-SILICA SOL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0424638(A3) |
申请公布日期 |
1991.07.31 |
| 申请号 |
EP19900116599 |
申请日期 |
1990.08.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED;KYUSHU FUJITSU ELECTRONICS LIMITED |
发明人 |
HARADA, HIDEKI |
| 分类号 |
C08J3/24;C08G77/06;H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/312 |
主分类号 |
C08J3/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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