发明名称 PROCESS FOR PREPARING III-V GROUP SINGLE CRYSTAL SEMI-ISOLATORS BY DOPING, AND USE OF THE SEMI-ISOLATORS SO OBTAINED
摘要
申请公布号 EP0243231(B1) 申请公布日期 1991.07.17
申请号 EP19870400757 申请日期 1987.04.06
申请人 ETAT FRANCAIS REPRESENTE PAR LE MINISTRE DES PTT (CENTRE NATIONAL D'ETUDES DES TELECOMMUNICATIONS) 发明人 LAMBERT, BERTRAND;TOUDIC, YVES;COQUILLE, RENE
分类号 H01L21/205;C30B11/00;C30B15/00;C30B15/04;C30B27/02;C30B29/40;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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