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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03165542(A)
申请公布日期
1991.07.17
申请号
JP19890305226
申请日期
1989.11.25
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
KUWAZAWA ATSUSHI
分类号
H01L21/82
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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