发明名称 CLUSTER ION BEAM VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03162568(A) 申请公布日期 1991.07.12
申请号 JP19890302201 申请日期 1989.11.22
申请人 CANON INC 发明人 KAWASAKI TAKEHIKO;KANEKO NORIO;SHINJO KATSUHIKO
分类号 B01D1/00;C23C14/32 主分类号 B01D1/00
代理机构 代理人
主权项
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