发明名称 Light-sensitive composition, and process for the formation of relief patterns.
摘要 Die Erfindung betrifft ein strahlungsempfindliches Gemisch, im wesentlichen bestehend aus (a) einem in Wasser unlöslichen, in wäßrig-alkalischen Lösungen löslichen Bindemittel oder Bindemittelgemisch und (b) einer bei Bestrahlung eine starke Säure bildenden Verbindung, wobei Komponente (a) mindestens eine Gruppierung <IMAGE> enthält. Das erfindungsgemäße strahlungsempfindliche Gemisch eignet sich zur Herstellung von Reliefstrukturen.
申请公布号 EP0432599(A2) 申请公布日期 1991.06.19
申请号 EP19900123055 申请日期 1990.12.01
申请人 BASF AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 NGUYEN KIM, SON, DR.
分类号 G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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