发明名称 TREATMENT OF QUARTZ JIG
摘要
申请公布号 JPH03136316(A) 申请公布日期 1991.06.11
申请号 JP19890273791 申请日期 1989.10.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MAMADA TERUO
分类号 C03B29/00;C03B32/00;H01L21/304 主分类号 C03B29/00
代理机构 代理人
主权项
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