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发明名称 CONNECTION OF WIRING OF THIN FILM INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03133135(A) 申请公布日期 1991.06.06
申请号 JP19890270267 申请日期 1989.10.19
申请人 NEC CORP 发明人 ASADA HIDEKI
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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