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发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR EVAPORATING MONOMERS LIQUID AT ROOM TEMPERATURE
摘要
申请公布号 EP0361171(B1) 申请公布日期 1991.06.05
申请号 EP19890116613 申请日期 1989.09.08
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HUSSLA, INGO, DR.-ING.;RITTER, JOCHEN, DIPL.-ING.
分类号 C30B25/14;C23C16/44;C23C16/448 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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