VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUMSTAEBEN MIT HOHEM SAUERSTOFFGEHALT DURCH TIEGELFREIES ZONENZIEHEN, DADURCH ERHAELTLICHE SILICIUMSTAEBE UND DARAUS HERGESTELLTE SILICIUMSCHEIBEN
摘要
申请公布号
DE3938937(A1)
申请公布日期
1991.05.29
申请号
DE19893938937
申请日期
1989.11.24
申请人
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH, 8263 BURGHAUSEN, DE
发明人
DREIER, PETER, DR.;AMMON, WILFRIED VON, DR.;WINTERER, HEINZ, 8263 BURGHAUSEN, DE
