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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03125460(A) 申请公布日期 1991.05.28
申请号 JP19890263213 申请日期 1989.10.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAO ICHIRO;NABESHIMA TAMOTSU;NISHIO MIKIO;YABU TOSHIKI
分类号 H01L21/76;H01L27/08 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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