| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0380119(A3) |
申请公布日期 |
1991.05.15 |
| 申请号 |
EP19900101572 |
申请日期 |
1990.01.26 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
FUJIMURA, SHUZO, C/O FUJITSU LIMITED |
| 分类号 |
H01L21/302;H01J37/32;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01J37/32;H05H1/46 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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