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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR THE INTERFEROMETRIC DETECTION OF SURFACE DISPLACEMENTS OF SOLID BODIES
摘要
申请公布号 EP0398319(A3) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 EP19900109295 申请日期 1990.05.17
申请人 BETRIEBSFORSCHUNGSINSTITUT VDEH INSTITUT FUER ANGEWANDTE FORSCHUNG GMBH 发明人 KECK, ROLAND, DR. ING.;KRUEGER, BERTOLD, DIPL.-ING.
分类号 G01H9/00;G01D5/26;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01H9/00
代理机构 代理人
主权项
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