发明名称 产生电浆之电极及其用法
摘要 一种在成对配置于减压处理室成相互面对隔开之平行关系,且其间无线电(radio)频率电流被施加以产生电浆之产生电浆之电极中,该电极最好是由高纯度铝或铝合金所制成,并在其上具有一层铬酸阳极表面膜。当用于有含氟气体存在之电浆处理时其耐用性可大为改进。
申请公布号 TW157315 申请公布日期 1991.05.01
申请号 TW079101076 申请日期 1990.02.12
申请人 轻金属股份有限公司;应用材料股份有限公司 发明人 伊藤紘一;宫下辉雄
分类号 H01L 主分类号 H01L
代理机构 代理人 赖经臣 台北巿南京东路三段三四六号白宫企业大楼一一一二室
主权项 1﹒一种产生电浆之电极,系在成对配置于减压处理室中成相互面对隔开之平行关系,且其间无线电频率电流被施加以产生电浆的电极,其特征为,其中该电极包含一种选自铝或铝一镁合金之材料并在该材料上有一层铬酸阳极表面膜者。2﹒如申请专利范围第1项所述之电极,其中该层具有之厚度为5为15微米者。3﹒如申请专利范围第1项所述之电极,其中该材料为具有纯度为99﹒99%-99﹒999%重量百分率之高纯度铝或由该高纯度铝所产生之铝一镁合金,且包含具有直径不超过2微米之可阳极化粒子者。4﹒一种使用如申请专利范围第1项所述之电极以形成电浆之方法,其包括在减压下施加一电浆形成无线电频率电流至相互面对隔开之平行电极对之间,其中该电极包含一铝或铝一镁合金基座,且在该基座上有一层铬酸阳极表面膜者。5﹒如申请专利范围第4项所述之方法,其中该表面膜层具有之厚度为5至15微米者。图示简单说明图1所示为根据本发明之辐射放射半导体二极体第一实施例之横断面图;图2所示为根据本发明之辐射放射半导体二极体第二实施例之横断面图;图3所示为图1中之半导体二极体之电流电压特性曲线图,图4及5所示为图1辐射放射半导体二极体在制造各阶段之横断面图。
地址 日本