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发明名称 DIFFRACTION GRATING ELEMENT FOR ELECTRON WAVE
摘要
申请公布号 JPH03102275(A) 申请公布日期 1991.04.26
申请号 JP19890239966 申请日期 1989.09.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKAMOTO MASAKUNI;TANAKA TOSHIAKI
分类号 G01R33/02;G11B5/33 主分类号 G01R33/02
代理机构 代理人
主权项
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