发明名称 |
INSPECTING APPARATUS OF WORKPIECE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0385405(A) |
申请公布日期 |
1991.04.10 |
申请号 |
JP19890223410 |
申请日期 |
1989.08.30 |
申请人 |
TOYODA GOSEI CO LTD |
发明人 |
HISAICHI KATSUTOSHI;SATO TAKAO;NISHI KOICHIRO |
分类号 |
G01B5/00;G01B13/16;G01M3/02;G01M3/26 |
主分类号 |
G01B5/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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