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发明名称 CLEANING OF GAS FLOW PASSAGE
摘要
申请公布号 JPH0330829(A) 申请公布日期 1991.02.08
申请号 JP19890162611 申请日期 1989.06.27
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 HINO RENKAI
分类号 C03B37/018;B01J4/00;C03B37/014;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C03B37/018
代理机构 代理人
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