发明名称 Vertical MOSFET DRAM
摘要
申请公布号 US4984030(A) 申请公布日期 1991.01.08
申请号 US19880201100 申请日期 1988.05.31
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SUNAMI, HIDEO;KURE, TOKUO;KAWAMOTO, YOSHIFUMI;TAMURA, MASAO;MIYAO, MASANOBU
分类号 G11C11/401;H01L21/033;H01L21/763;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/78 主分类号 G11C11/401
代理机构 代理人
主权项
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