发明名称 | 1∶1折反式非球面光学系统 | ||
摘要 | 一种1∶1折反式非球面光学系统,主要用于精细图形的照相复制。它包括两个棱镜,一个双胶合透镜,和一个非球面反射镜。它具有数值孔径大,分辨率高,在波长短于365nm的紫外区,也具有较大工作视场。 | ||
申请公布号 | CN1047396A | 申请公布日期 | 1990.11.28 |
申请号 | CN89103483.8 | 申请日期 | 1989.05.18 |
申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 王之江 |
分类号 | G02B17/08;G02B17/02 | 主分类号 | G02B17/08 |
代理机构 | 中国科学院上海专利事务所 | 代理人 | 张泽纯;李兰英 |
主权项 | 1、一种用于精细图形照相复制的1∶1折反式非球面光学系统,包括一个非球面反射镜6,由两个棱镜3,透镜4、透镜5相胶合而成的折射镜组,其特征是所说的反射镜6是轴对称非球面反射镜。 | ||
地址 | 上海市嘉定县嘉定镇清河路390号 |