发明名称 1∶1折反式非球面光学系统
摘要 一种1∶1折反式非球面光学系统,主要用于精细图形的照相复制。它包括两个棱镜,一个双胶合透镜,和一个非球面反射镜。它具有数值孔径大,分辨率高,在波长短于365nm的紫外区,也具有较大工作视场。
申请公布号 CN1047396A 申请公布日期 1990.11.28
申请号 CN89103483.8 申请日期 1989.05.18
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 王之江
分类号 G02B17/08;G02B17/02 主分类号 G02B17/08
代理机构 中国科学院上海专利事务所 代理人 张泽纯;李兰英
主权项 1、一种用于精细图形照相复制的1∶1折反式非球面光学系统,包括一个非球面反射镜6,由两个棱镜3,透镜4、透镜5相胶合而成的折射镜组,其特征是所说的反射镜6是轴对称非球面反射镜。
地址 上海市嘉定县嘉定镇清河路390号