发明名称 ETCHING OF COPPER USING SOLUTION OF AMMONIA ETCHING AGENT AND RECOVERY OF USED SOLUTION OF ETCHING AGENT
摘要
申请公布号 JPH02285080(A) 申请公布日期 1990.11.22
申请号 JP19890101520 申请日期 1989.04.20
申请人 MINNSHIN RII 发明人 MINNSHIN RII
分类号 C23F1/34;C23F1/46;C25D21/18;H05K3/06 主分类号 C23F1/34
代理机构 代理人
主权项
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