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发明名称 PRODUCTION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02267103(A) 申请公布日期 1990.10.31
申请号 JP19890088980 申请日期 1989.04.07
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 NATORI EIJI
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G29/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C01B13/14 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
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