发明名称 |
SPINDLE-SHAPED CONTROL JIG FOR FILM FORMING DEVICE AND THE DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02263980(A) |
申请公布日期 |
1990.10.26 |
申请号 |
JP19890085420 |
申请日期 |
1989.04.04 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KUWATA JUN;ABE ATSUSHI |
分类号 |
C23C14/22;C23C14/54;H05B33/10;(IPC1-7):C23C14/22 |
主分类号 |
C23C14/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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