发明名称 SPINDLE-SHAPED CONTROL JIG FOR FILM FORMING DEVICE AND THE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02263980(A) 申请公布日期 1990.10.26
申请号 JP19890085420 申请日期 1989.04.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KUWATA JUN;ABE ATSUSHI
分类号 C23C14/22;C23C14/54;H05B33/10;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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