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发明名称
VORRICHTUNG ZUM AUFDAMPFEN VON SCHICHTEN IM VAKUUM
摘要
申请公布号
DD283844(A5)
申请公布日期
1990.10.24
申请号
DD19890327655
申请日期
1989.04.14
申请人
KIEVSKY POLITEKHNICHESKY INSTITUT,SU
发明人
LEVCHENKO,GEORGY T.,SU;RADZIKOVSKY,ALEXANDR N.,SU
分类号
C23C10/26;(IPC1-7):C23C10/26
主分类号
C23C10/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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