| 发明名称 |
METHOD FOR DETERMINING CONCENTRATION OF METAL IMPURITY IN CZ SINGLE CRYSTAL SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02259563(A) |
申请公布日期 |
1990.10.22 |
| 申请号 |
JP19890082840 |
申请日期 |
1989.03.31 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
YOKOTA SHUJI;YAMAGISHI HIROTOSHI;ABE TAKAO |
| 分类号 |
G01N33/00;C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
主分类号 |
G01N33/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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