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发明名称 IONIZATION VACUUM GAGE PROVIDED WITH SUPERCONDUCTING MAGNETIC SHIELD
摘要
申请公布号 JPH02257030(A) 申请公布日期 1990.10.17
申请号 JP19890076800 申请日期 1989.03.30
申请人 CANON INC 发明人 KASANUKI YUJI;KAWASAKI TAKEHIKO;KISHI FUMIO
分类号 G01L21/32 主分类号 G01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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