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经营范围
发明名称
Selective deposition of amorphous and polycrystalline silicon
摘要
申请公布号
US4963506(A)
申请公布日期
1990.10.16
申请号
US19890342004
申请日期
1989.04.24
申请人
MOTOROLA INC.
发明人
LIAW, HANG M.;SEELBACH, CHRISTIAN A.
分类号
H01L21/205;H01L21/20
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
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