| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CROSS-SECTION SHAPE MEASUREMENT AND COMPARATIVE INSPECTION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02247964(A) |
申请公布日期 |
1990.10.03 |
| 申请号 |
JP19890066315 |
申请日期 |
1989.03.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ENDO FUMIAKI;MAEDA SHUNJI;KUBOTA HITOSHI |
| 分类号 |
H01J37/22;G01B11/24;G01B11/245;G01B15/04;H01J37/04;H01J37/244;H01L21/66 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
